Apparatus for and method of modulating a light source wavelength

WO2020231946 Art A1 19. November 2020

Anmelder: CYMER, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020231946
Aktenzeichen: EP20729464
Anmeldetag: 11. Mai 2020
Veröffentlichung: 19. November 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/1055H01S3/10G03F7/20H01S3/08H01S3/13H01S3/139H01S3/23H01S3/225

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CYMER, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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