Catalyst influenced chemical etching for fabricating three-dimensional sram architectures and optical waveguides

WO2020232025 Art A2 19. November 2020

Anmelder: BOARD OF REGENTS, THE UNIVERSITY OF TEXAS SYSTEM 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020232025
Aktenzeichen: EP20806530
Anmeldetag: 12. Mai 2020
Veröffentlichung: 19. November 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/8234

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: BOARD OF REGENTS, THE UNIVERSITY OF TEXAS SYSTEM
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Texas System

US-amerikanischer Universitätsverbund mit Sitz in Austin, Texas, bestehend aus mehreren Hochschulen und medizinischen Zentren. Der University of Texas System ist in Forschung zu Medizin, Naturwissenschaften, Ingenieurwesen und Biotechnologie aktiv.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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