Devices and methods involving activation of buried dopants using ion implantation and post-implantation annealing

WO2020232385 Art A1 19. November 2020

Anmelder: THE BOARD OF TRUSTEES OF THE LELAND STANFORD JUNIO, THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020232385
Aktenzeichen: EP20805992
Anmeldetag: 15. Mai 2020
Veröffentlichung: 19. November 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L29/207H01L21/768H01L23/48H01L23/498

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: THE BOARD OF TRUSTEES OF THE LELAND STANFORD JUNIO
THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 The Board of Trustees of the Leland Stanford Junior University

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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