Crystal growth apparatus and crystal growth method

WO2020235315 Art A1 26. November 2020

Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020235315
Aktenzeichen
EP20810347
Anmeldetag
28. April 2020
Veröffentlichung
26. November 2020
Rechtsraum
WO
IPC
C30B29/36C30B23/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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