Cooling of air actuated valve using actuating air

WO2020236504 Art A1 26. November 2020

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020236504
Aktenzeichen: EP20808976
Anmeldetag: 14. Mai 2020
Veröffentlichung: 26. November 2020
Rechtsraum: WO
IPC: F16K49/00F16K27/02F16K24/04F16K31/12F16K11/04F16K1/46H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik

Vertreten von