Control system for a plurality of deep ultraviolet optical oscillators

WO2020236648 Art A1 26. November 2020

Anmelder: CYMER, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020236648
Aktenzeichen: EP20730872
Anmeldetag: 15. Mai 2020
Veröffentlichung: 26. November 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/23

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: CYMER, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von