Bottom Isolation By Selective Top Deposition in Gaa Transistors

WO2020236694 Art A1 26. November 2020

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020236694
Aktenzeichen
EP20810016
Anmeldetag
18. Mai 2020
Veröffentlichung
26. November 2020
Rechtsraum
WO
IPC
H01L29/66H01L29/786H01L29/423H01L21/8234H01L21/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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