Chamber component cleanliness measurement system

WO2020236803 Art A1 26. November 2020

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020236803
Aktenzeichen: EP20810193
Anmeldetag: 19. Mai 2020
Veröffentlichung: 26. November 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G01N1/02G01N1/34G01N29/14G01N1/00G01N1/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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