Scanning Probe Lithography

WO2020240179 Art A1 3. Dezember 2020

Anmelder: OXFORD UNIVERSITY INNOVATION LIMITED 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020240179
Aktenzeichen
EP20729820
Anmeldetag
27. Mai 2020
Veröffentlichung
3. Dezember 2020
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/00G01Q70/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
OXFORD UNIVERSITY INNOVATION LIMITED
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Oxford University Innovation

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