Method and system for calibrating radiation thermometer

WO2020241850 Art A1 3. Dezember 2020

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020241850
Aktenzeichen: EP20814500
Anmeldetag: 29. Mai 2020
Veröffentlichung: 3. Dezember 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G01J5/00B24B37/015H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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