Polishing pad having pattern structure formed on polishing surface, polishing device including same, and method for manufacturing polishing pad

WO2020242110 Art A1 3. Dezember 2020

Anmelder: KOREA INSTITUTE OF INDUSTRIAL TECHNOLOGY 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020242110
Aktenzeichen: EP20815426
Anmeldetag: 19. Mai 2020
Veröffentlichung: 3. Dezember 2020
Rechtsraum: WO
IPC: B24B37/26B24B37/22H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KOREA INSTITUTE OF INDUSTRIAL TECHNOLOGY
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Institute of Industrial Technology

Das Korea Institute of Industrial Technology (KITECH) ist eine südkoreanische staatliche Forschungseinrichtung für angewandte Industrietechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Fertigungs- und Drucktechnik sowie Metallurgie und Halbleitertechnik, ergänzt durch Verfahrenstechnik. Anmeldungen sind von 2002 bis in die Gegenwart belegt.

688 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von