Atomic layer deposition reactor design for uniform flow distribution

WO2020242817 Art A1 3. Dezember 2020

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020242817
Aktenzeichen: EP20813275
Anmeldetag: 19. Mai 2020
Veröffentlichung: 3. Dezember 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/04C23C16/455C23C16/458

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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