Electrochemical deposition system including optical probes

WO2020242838 Art A1 3. Dezember 2020

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020242838
Aktenzeichen: EP20814418
Anmeldetag: 19. Mai 2020
Veröffentlichung: 3. Dezember 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C25D21/12C25D17/06C25D17/10G01B11/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von