Rf immune sensor probe for monitoring a temperature of an electrostatic chuck of a substrate processing system

WO2020243377 Art A1 3. Dezember 2020

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020243377
Aktenzeichen: EP20813568
Anmeldetag: 29. Mai 2020
Veröffentlichung: 3. Dezember 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G01K1/08G01K1/14H01L21/67H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von