Evaporator arrangement, deposition system, and evaporation method

WO2020244733 Art A1 10. Dezember 2020

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020244733
Aktenzeichen: EP19729225
Anmeldetag: 3. Juni 2019
Veröffentlichung: 10. Dezember 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/24C23C14/54C23C14/12C23C14/26G01K7/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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