Image formation apparatus

WO2020244854 Art A1 10. Dezember 2020

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020244854
Aktenzeichen: EP20724031
Anmeldetag: 30. April 2020
Veröffentlichung: 10. Dezember 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G03F9/00H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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