Messvorrichtung zur Interferometrischen Bestimmung einer Form einer Optischen Oberfläche eines Testobjekts

WO2020244937 Art A1 10. Dezember 2020

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020244937
Aktenzeichen: EP20730206
Anmeldetag: 22. Mai 2020
Veröffentlichung: 10. Dezember 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/24G01B9/02G01M11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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