Main chain scission-type resist material and composition comprising same

WO2020246566 Art A1 10. Dezember 2020

Anmelder: NIPPON SHOKUBAI CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020246566
Aktenzeichen: EP20819249
Anmeldetag: 5. Juni 2020
Veröffentlichung: 10. Dezember 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C07C25/18C07C63/70G03F7/004G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIPPON SHOKUBAI CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nippon Shokubai

Japanisches Chemieunternehmen, das unter anderem Acrylsäure, Superabsorber und Katalysatoren für die Industrie produziert.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Organische Chemie

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