Metrology method and method for training a data structure for use in metrology

WO2020249332 Art A1 17. Dezember 2020

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020249332
Aktenzeichen: EP20723154
Anmeldetag: 8. Mai 2020
Veröffentlichung: 17. Dezember 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/84G01N21/956G03F7/20G06T7/00G03H1/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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