Dry rough vacuum pump and method for controlling the injection of a purging gas

WO2020254043 Art A1 24. Dezember 2020

Anmelder: PFEIFFER VACUUM 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020254043
Aktenzeichen
EP20726402
Anmeldetag
15. Mai 2020
Veröffentlichung
24. Dezember 2020
Rechtsraum
WO
IPC
F04C23/00F04C25/02F04C18/12F04C18/16
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
PFEIFFER VACUUM
Land
🇫🇷 Frankreich
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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