Verfahren zum Bestimmen einer Temperaturabhängigen Längenänderung einer Probe

WO2020254086 Art A1 24. Dezember 2020

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020254086
Aktenzeichen: EP20732757
Anmeldetag: 28. Mai 2020
Veröffentlichung: 24. Dezember 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G01N25/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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