Vorrichtung und Verfahren zum Bestimmen und Einstellen der Neigungslage eines Suszeptors

WO2020254270 Art A1 24. Dezember 2020

Anmelder: AIXTRON SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020254270
Aktenzeichen: EP20733403
Anmeldetag: 16. Juni 2020
Veröffentlichung: 24. Dezember 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/458C23C16/46C23C16/52G01B11/14H01L21/687H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AIXTRON SE
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Aixtron

Aixtron ist ein deutscher Hersteller von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie. Der Patentbestand konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Verfahrens- und Messtechnik. Die Anmeldungen aus 2000 bis 2025 betreffen unter anderem die Reinigung und den Betrieb von CVD-Reaktoren.

303 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von