Starting material for chemical vapor deposition composed of organic manganese compound, and chemical vapor deposition method using said starting material for chemical vapor deposition

WO2020255913 Art A1 24. Dezember 2020

Anmelder: TANAKA KIKINZOKU KOGYO K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020255913
Aktenzeichen: EP20826161
Anmeldetag: 15. Juni 2020
Veröffentlichung: 24. Dezember 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/18C07F13/00H01L21/285

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TANAKA KIKINZOKU KOGYO K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tanaka Kikinzoku Kogyo

Tanaka Kikinzoku Kogyo ist ein japanisches Unternehmen für Edelmetallverarbeitung mit Sitz in Tokio. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt um Fertigungs- und Verfahrenstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2023 ab.

430 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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