Method for forming pattern, method for manufacturing substrate with pattern, and method for manufacturing sintered body with pattern

WO2020255925 Art A1 24. Dezember 2020

Anmelder: KYUSHU UNIVERSITY, NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020255925
Aktenzeichen: EP20826439
Anmeldetag: 15. Juni 2020
Veröffentlichung: 24. Dezember 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027B29C59/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KYUSHU UNIVERSITY, NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kyushu University

Kyushu University ist eine staatliche Universität in Fukuoka, Japan, mit Forschungsschwerpunkten in Natur- und Ingenieurwissenschaften.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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