Method for selectively manufacturing material layer and target pattern

WO2020256515 Art A1 24. Dezember 2020

Anmelder: INDUSTRY-UNIVERSITY COOPERATION FOUNDATION HANYANG 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020256515
Aktenzeichen
EP20826389
Anmeldetag
22. Juni 2020
Veröffentlichung
24. Dezember 2020
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/02H01L21/311C23C16/34C23C16/40C23C16/455
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
INDUSTRY-UNIVERSITY COOPERATION FOUNDATION HANYANG
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Industry-University Cooperation Foundation Hanyang

Die Industry-University Cooperation Foundation Hanyang ist die Forschungstransferstelle der Hanyang University in Südkorea. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Medizintechnik, ergänzt um Mess- und Prüftechnik und Software. Anmeldungen laufen von 2011 bis in die Gegenwart.

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