Multilayer superconductive article, superconductive coil, actuator, motor, stage apparatus and lithographic apparatus

WO2020260000 Art A1 30. Dezember 2020

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020260000
Aktenzeichen: EP20730290
Anmeldetag: 8. Juni 2020
Veröffentlichung: 30. Dezember 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H02K41/03H01L39/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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