Device and method for moving an object into a processing station, conveying system and processing apparatus

WO2020260389 Art A1 30. Dezember 2020

Anmelder: ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020260389
Aktenzeichen: EP20733665
Anmeldetag: 24. Juni 2020
Veröffentlichung: 30. Dezember 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67H01L21/677H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Atotech Deutschland

Atotech Deutschland ist ein deutscher Anbieter von Oberflächenveredelungschemie, unter anderem für die Elektronik- und Halbleiterindustrie, und gehört zum US-Konzern MKS Instruments. Das Patentportfolio konzentriert sich deutlich auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Elektronik und Halbleitertechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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