Verfahren zum Kalibrieren/verifizieren von Massenfluss-Mess/steuer-Geräten eines Gasmischsystems und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens

WO2020260480 Art A1 30. Dezember 2020

Anmelder: AIXTRON SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020260480
Aktenzeichen: EP20734928
Anmeldetag: 25. Juni 2020
Veröffentlichung: 30. Dezember 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/455C23C16/52G01F25/00C23C16/448

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: AIXTRON SE
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Aixtron

Aixtron ist ein deutscher Hersteller von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie. Der Patentbestand konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Verfahrens- und Messtechnik. Die Anmeldungen aus 2000 bis 2025 betreffen unter anderem die Reinigung und den Betrieb von CVD-Reaktoren.

303 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von