Suction device and vacuum process device

WO2021002141 Art A1 7. Januar 2021

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021002141
Aktenzeichen: EP20835468
Anmeldetag: 4. Juni 2020
Veröffentlichung: 7. Januar 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065H01L21/683C23C14/50C23C16/458

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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