Vacuum processing system and method of operating a vacuum processing system

WO2021004619 Art A1 14. Januar 2021

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021004619
Aktenzeichen: EP19742305
Anmeldetag: 8. Juli 2019
Veröffentlichung: 14. Januar 2021
Rechtsraum: WO
IPC: F04B37/08F04B37/14F04B41/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)

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