Method for determining a center of a radiation spot, sensor and stage apparatus

WO2021004720 Art A1 14. Januar 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021004720
Aktenzeichen: EP20733547
Anmeldetag: 10. Juni 2020
Veröffentlichung: 14. Januar 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G03F9/00G01B11/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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