Systems and methods for selecting defect detection methods for inspection of a specimen
WO2021007044
Art A1
14. Januar 2021
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2021007044
- Aktenzeichen
- EP20837875
- Anmeldetag
- 26. Juni 2020
- Veröffentlichung
- 14. Januar 2021
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/88G01N21/95H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.