Porous Carbonaceous Vacuum Chamber Liners
WO2021007319
Art A1
14. Januar 2021
Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2021007319
- Aktenzeichen
- EP20836086
- Anmeldetag
- 8. Juli 2020
- Veröffentlichung
- 14. Januar 2021
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/18H01J37/317
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
1.106 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.