Oxygen-loss resistant top coating for optical elements

WO2021008856 Art A1 21. Januar 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021008856
Aktenzeichen: EP20735532
Anmeldetag: 26. Juni 2020
Veröffentlichung: 21. Januar 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B5/08G02B5/20G03F1/62G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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