Light sources and methods of controlling; devices and methods for use in measurement applications

WO2021008929 Art A1 21. Januar 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021008929
Aktenzeichen: EP20736341
Anmeldetag: 7. Juli 2020
Veröffentlichung: 21. Januar 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01N21/956H01S3/13H01S3/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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