Substrate processing system for processing of a plurality of substrates and method of processing a substrate in an in-line substrate processing system

WO2021013361 Art A1 28. Januar 2021

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021013361
Aktenzeichen: EP19748498
Anmeldetag: 25. Juli 2019
Veröffentlichung: 28. Januar 2021
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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