A light source and a method for use in metrology applications

WO2021013521 Art A1 28. Januar 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021013521
Aktenzeichen: EP20735611
Anmeldetag: 6. Juli 2020
Veröffentlichung: 28. Januar 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G02F1/01G03F7/00G02F1/383

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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