Sub-Stoichiometric Metal-Oxide Thin Films

WO2021014266 Art A1 28. Januar 2021

Anmelder: ULVAC, INC., INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021014266
Aktenzeichen
EP20843044
Anmeldetag
10. Juli 2020
Veröffentlichung
28. Januar 2021
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ULVAC, INC.
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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🇺🇸 IBM

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.

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