Leveling unit for imprinting and imprint apparatus comprising same

WO2021015508 Art A1 28. Januar 2021

Anmelder: KOREA INSTITUTE OF MACHINERY & MATERIALS 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021015508
Aktenzeichen: EP20843698
Anmeldetag: 20. Juli 2020
Veröffentlichung: 28. Januar 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G03F7/16G03F7/20G03F9/00H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KOREA INSTITUTE OF MACHINERY & MATERIALS
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Institute of Machinery & Materials

Das Korea Institute of Machinery & Materials ist ein staatliches südkoreanisches Forschungsinstitut für Maschinenbau und Werkstofftechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug-, Fertigungs- und Drucktechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Verfahrenstechnik und Messtechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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