Vertical transistor fabrication for memory applications

WO2021015895 Art A1 28. Januar 2021

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021015895
Aktenzeichen
EP20844270
Anmeldetag
17. Juni 2020
Veröffentlichung
28. Januar 2021
Rechtsraum
WO
IPC
H01L27/11582H01L27/1157H01L21/768
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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