Method of compensating wavelength error induced by repetition rate deviation

WO2021015919 Art A1 28. Januar 2021

Anmelder: CYMER, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021015919
Aktenzeichen: EP20742555
Anmeldetag: 25. Juni 2020
Veröffentlichung: 28. Januar 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/10H01S3/1055G03F7/20H01S3/08H01S3/13H01S3/137H01S3/225H01S3/23

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CYMER, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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