Wafer Cushion
WO2021016008
Art A1
28. Januar 2021
Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2021016008
- Aktenzeichen
- EP20843424
- Anmeldetag
- 15. Juli 2020
- Veröffentlichung
- 28. Januar 2021
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/673
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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