Overlay Measurement Targets Design
WO2021016408
Art A1
28. Januar 2021
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2021016408
- Aktenzeichen
- EP20843876
- Anmeldetag
- 23. Juli 2020
- Veröffentlichung
- 28. Januar 2021
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L23/544H01L21/66H01L23/525H01L23/528
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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