Systems and methods for moke metrology with consistent mram die orientation

WO2021016500 Art A1 28. Januar 2021

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021016500
Aktenzeichen: EP20843269
Anmeldetag: 24. Juli 2020
Veröffentlichung: 28. Januar 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G01R33/032G11C29/00G01N21/21

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KLA CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Akustik, Musik & Datenspeicherung Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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