Thermo-Mechanical Actuator

WO2021018499 Art A1 4. Februar 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021018499
Aktenzeichen: EP20736622
Anmeldetag: 30. Juni 2020
Veröffentlichung: 4. Februar 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L37/02G03F7/20H01L41/04H01L41/08H01L41/09H01L41/113

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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