Temperature Profile Measurement And Synchronized Control On Substrate And Susceptor in an Epitaxy Chamber

WO2021021357 Art A1 4. Februar 2021

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021021357
Aktenzeichen: EP20847040
Anmeldetag: 29. Juni 2020
Veröffentlichung: 4. Februar 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67C30B25/10C30B25/08C30B25/16C23C16/48C23C16/52G01J5/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von