Non-elastomeric, non-polymeric, non-metallic membrane valves for semiconductor processing equipment

WO2021021578 Art A1 4. Februar 2021

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021021578
Aktenzeichen: EP20847555
Anmeldetag: 23. Juli 2020
Veröffentlichung: 4. Februar 2021
Rechtsraum: WO
IPC: B81B1/00F16K7/12F16K27/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik

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