Support, vibration isolation system, lithographic apparatus, object measurement apparatus, device manufacturing method

WO2021023464 Art A1 11. Februar 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021023464
Aktenzeichen: EP20737020
Anmeldetag: 9. Juli 2020
Veröffentlichung: 11. Februar 2021
Rechtsraum: WO
IPC: F16F1/02F16F1/13G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik

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