Dimension measurement device, dimension measurement method, and semiconductor manufacturing system

WO2021024402 Art A1 11. Februar 2021

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021024402
Aktenzeichen: EP19940669
Anmeldetag: 7. August 2019
Veröffentlichung: 11. Februar 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G01B15/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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