Method for printing laser mark, and method for manufacturing silicon wafer with laser mark

WO2021024674 Art A1 11. Februar 2021

Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021024674
Aktenzeichen
EP20849398
Anmeldetag
6. Juli 2020
Veröffentlichung
11. Februar 2021
Rechtsraum
WO
IPC
B23K26/00H01L21/02H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMCO CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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